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麗晶先進材料

 

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麗晶先進材料提供各種氧化物晶體生長設備、高溫處理設備、高溫隔熱材等。同時也提供各種應用於半導體、光電、LCD、LED、軍事等領域的藍寶石、陶瓷、石英、金屬、氧化物晶體以及釔鋁石榴石(YAG)等應用產品,包含各種管材、棒材、視窗片、Pin、Fork,光導管(Light Pipe)、紅外線導引光窗(Dome)、坩堝、圓形椎型頂罩(Dome)…..等

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Deposition Process:

  1. CVD
    1. PECVD(Plasma Enhanced CVD)
    2. APCVD(Atmospheric Pressure CVD)
    3. SACVD(subatmospheric CVD)
    4. LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)
    5. HDPCVD(High Density Plasma Chemical Vapor Deposition)
    6. UHVCVD(Ultra-High Vacuum Chemical Vapor Deposition)
    7. MOCVD(MetalOrganic CVD)
    8. JVD(Jet Vapor Deposition)
    9. ALD(Atomic Layer Deposition)
    10. SOS(Silicon on Sapphire)
  2. PVD(Physical Vapor Deposition)
    1. evaporator, sputter
  3. Epitaxy Growth(EPI)
    1. VPE, LPE, MBE

Etch Process

  1. Dry Etching(Plasma etching, physical removal, combination of chemical reactions and physical removal.)
  2. Wet Etching
  3. CMP(Chemical mechanical polishing or planarization)

Thermal Process

  1. RTA/RTP (Rapid Thermal Processing/Anneal)
  2. Diffusion / Annealing

精於硬脆晶體材料如藍寶石、陶瓷的生長及加工,能生長並加工高品質低單價的各種材料及應用產品。同時也精於各項光學接合、導熱膠接合、擴散接合、硬焊接合等技術,能接合不規則外形的藍寶石等不易加工材料或超高真空導電件或軍事應用的硬焊或擴散接合組件。 

 

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