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我們製造多種藍寶石光導管及零附件;優越的光學接合技術,讓光導過程損失最小。
利用我們優越的晶體製造及加工能力,提供最俱品質價格優勢的產品。
歡迎洽詢產品或代工服務。
藍寶石溫度探針（光導管）
光導管是光纖技術（OFT）獨有的元素。當傳感器插入到處理室內時，傳感器通常非常靠近目標。光導管可以由石英或其他晶體材料製成，但是藍寶石是當今使用的最有效和最常見的材料。
光導管的光學視場是發散的。（可以在一定程度上調整錐角。）在進行光學溫度測量時，通常從相當寬的區域收集能量。這樣可以在一個區域內平均信號，從而使測量對局部表面變化的敏感性降低
在發射率和溫度方面。
典型的光導管直徑從1到4毫米，長度從25到400毫米不等。
溫度範圍和半導體應用
溫度範圍是目標發射系數和傳感器(光導)透射光譜的函數。對於光導管探頭，下表列出了一系列傳感器傳輸帶的最低溫度（達到要求的精度）和最高溫度。
OFT的溫度範圍很寬（50°至2000°C，122°至3632°F或更高），可應對許多不同的半導體製程。
250°至2000°C（482°至3632°F）的範圍適用於許多金屬製程，例如外延磊晶和RTP，這些工藝通常受益於高速感應功能。
50°至550°C（122°至1022°F）的範圍具有廣泛的應用範圍，包括電漿(等離子)化學氣相沉積(CVD)，電漿(等離子)蝕刻/剝離和物理氣相沉積(PVD)。
一系列光導傳輸帶的最低溫度（達到要求的精度）和最高溫度。
我們提供:
Semiconductor
- Probe Mount Assy, Sapphire, WTM, HDP CVD 0190-18430
- AMAT 0010-15563 ASSEMBLY, PROBE, XE RTP CHAMBER,
- AMAT Applied Materials 0190-35974 Probe ASSY XE Chamber RTP
- RTP Temp Probe Sapphire Pin 0010-23716 Sapphire Core
- RTP Temp Probe Sapphire Pin 0010-23715 Sapphire Core
- 0010-18024 Applied Materials AMAT 300mm Radiance Pyro Pyrometer RTP Probe Sapphire Core
- 0010-19504 2mm Sapphire Probe Assembly
- Others
LED MOCVD
- Light Pipe PN100000790 for AIX2800G4 /2600G3
我們還可以提供客製光導管
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