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生產多種使用於AMAT、Novellus、LAM、TEL、Axcelis、等廠CVD 、HDPCVD、MOCVD、RTA、Epitaxy、Diffusion / Annealing 等設備上藍寶石、陶瓷、石英、金屬、氧化物晶體視窗或藍寶石對金屬視窗元件。
- 15-110411-00 (Novellus Concept )
- 0200-09074 (Sapphire)
- 0200-71026
- 716-008608-001 WDO,SAPPHIRE
- 3440-01037 WINDOW SAPPHIRE
- 10-406499-11WINDOW DEPO SAF0.5 (DRM2)
- 15-100641-00 Novellus; Window Viewport Inner WCVD 300
- 716-011009-001;LAM rainbow 4520 /LAM 9800 (Sapphire)
- 716-008608-001; LAM
- 716-011533-001;LAM (Sapphire Type)
也可根據客規客製。 |
